1-gamma: Micron fertigt DRAM nun mit EUV

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Micron hat angekündigt mit der Fertigung von DRAM in einem neuen Fertigungsverfahren namens 1γ (1-gamma) begonnen zu haben. Es handelt sich nach eigenen Angaben um die sechste Generation der Fertigung von DRAM bei Micron und bei 1γ (1-gamma) um eine Fertigung im Bereich von 10 nm. Erstmals kommt eine Belichtung mittels EUV (Extreme Ultra Violet) in der Fertigung zum Einsatz. Noch ohne EUV wird der aktuelle DRAM in 1α (1-alpha) und 1β (1-beta) gefertigt.
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