Der nähere Fahrplan dürfte so aussehen:
2017 - 10 FinFET LPP
2018 - 8 FinFET
2019 - 7 FinFET <-- EUV
So dürfte der von TSMC aussehen:
2018 - 7 FinFET
2019 - 7 FinFET+ <-- EUV
2020 - 5 Gate-all-Around-FET
2022 - 3 Gate-all-Around-FET
Mit 7FF ist TSMC bereits in die Risc-Production eingetreten.
Samsung hat 8FF wegen der Unwägbarkeiten mit EUV eingeschoben; aus demselben Grund führt TSMC auch erst einmal den 7FF ohne EUV ein.
ASLM steckt ja auch noch mitten in der Entwicklung. Alle Pläne ab 2019 könnten also Makulatur sein...