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Denke mal der Großteil eher nicht, sonst würde man woanders wirtschaftlicher bauen...
Wüsste aber durchaus auch gern in was genau solch unglaubliche Summen fließen.
Ich meine klar, man braucht perfekte Reinräume und extremst präzise Maschinen... aber wir reden immerhin von Milliarden.
Die ganze Forschung die für 5nm noch notwendig ist, ist da wohl auch mit eingerechnet.