Das Problem ist nicht, dass wir mittlerweile bei einigen Atomen Breite angekommen sind. Das Problem ist, dass die Strukturen kleiner werden als die Wellenlängen des Lichts. Und mit Licht baut man diese Transistoren - das Siliziumsubstrat wird mit einer Chemikalie besprüht, dann unter einer Maske mit dem Layout des Chips belichtet, und anschließend werden die belichteten oder unbelichteten Teile mit einer Säure weggeätzt, während der unbelichtete oder belichtete Teil stehen bleibt.
Das kann man irgendwann nicht mehr machen, wenn die Wellenlänge von dem von dir benutzten Licht größer ist als die Struktur die du ätzen willst.
https://de.wikipedia.org/wiki/Fotolithografie_(Halbleitertechnik)