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Exportbeschränkungen weiterer Lithografie-Systeme

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Exportbeschränkungen weiterer Lithografie-Systeme
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Nachdem bereits die USA Exporte von EUV-Lithografie-Systemen in die Volksrepublik China erschwert haben, schließen sich nun auch die Niederlande der Politik der vereinigten Staaten an. Die Niederlande erschweren ihrerseits die Exporte weiterer Lithografie-Systeme in die Volksrepublik. 

Die Niederlande führt dazu eine Export-Kontrolliste ein, damit entsprechende Belichtungssysteme nicht mehr uneingeschränkt exportieren werden können. Hersteller benötigen in der Zukunft eine Ausnahmelizenz um Lithografie-Systeme nach China verkaufen zu können. Betreffen wird dies neben den bereits reglementierten EUV-Systemen auch DAU-Lithografie-Systeme, kurz für Deep Ultraviolet. Die Anlagen arbeiten mit einem tief-ultraviolettem Licht in einem Wellenlängenbereich von 193 nm und werden sowohl bei älteren, wie auch neueren Fertigungsprozessen, wie der aktuellen 3-nm-Generation, eingesetzt. 

Die Niederlande planen die neuen Exporteinschränkungen noch vor dem Sommer einzuführen. Die Ziele werden dabei offen ausformuliert. Die Niederlande möchte eine langfristige, strategische Abhängigkeit vermeiden und ebenso die eigene technologische Position schützen. Dazu möchten das Land keinen Beitrag zu unerwünschten Produkten leisten, zu denen auch militärische Ausrüstung gehört, ebenso Massenvernichtungswaffen.

Für die chinesischen Hersteller könnten diese neuen Exportverbote ein Problem darstellen. In jedem Fall wird es die chinesische Chipindustrie treffen und das Wachstum der Branche nochmal verlangsamen.

Diese Exportbeschränkungen tangieren auch direkt den niederländischen Hersteller solcher Systeme, ASML, und in der Folge internationaler Lieferketten, insbesondere für Anlangen mit einer derartigen Komplexität, auch deutsche Zulieferer, beispielsweise Zeiss. Allerdings dürfte es etwas dauern, bis die Entscheidung Auswirkungen bei den jeweiligen Unternehmen zeigen; die Auftragsbücher von ASML sind nämlich voll und es wird Jahre in Anspruch nehmen diesen Stau abzuarbeiten.

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