Twinscan
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Für 3 und 2 nm: ASML liefert ersten Twinscan NXE:3800E mit mehr Durchsatz aus
Auch wenn sich derzeit vieles auf die ersten High-NA-EUV-Systeme konzentriert, von denen ASML das erste im Dezember an Intel lieferte, so werden in den kommenden Jahren noch viele "klassische" EUV-Systeme vom niederländischen Hersteller an die Chiphersteller ausgeliefert werden. Per Social-Media hat man nun verkündet, dass der erste TWINSCAN NXE:3800E in einer Chipfabrik, die nicht näher genannt wird, installiert wurde. Beim TWINSCAN... [mehr]