Klare Antwort Jaein
Auf dem Wafer gibt es mehrere Chips = richtig :)
mit dem Stepper wird jeder Chip einzeln belichtet = falsch bzw. nicht ganz falsch ;)
Jeder Stepper hat eine Maske drin !!!
Die Masken zum Belichten haben nicht nur einen kompletten Chip drauf abgebildet,
um Zeit zu sparen...