Auf dem Bild in #4 sieht man, dass die CPU noch am Kühler klebt. Ergo hat TE bei der demontage des Kühlers die CPU mit aus dem Sockel gerissen.
Verhindern lässt sich das zum einen durch erwärmen und der Kühler sollte mit Kreisbewegungen von der CPU gelöst werden. Nicht einfach ziehen wie ein Ochse.