- Betriebsmittel: Werkzeuge nicht aus Edelstahl, sondern aus SiO2, Si3N4 (Keramiken)
oder Kunststoff
- Ätzreinigung vor jedem Hochtemperaturprozeß
- Zentrale Versorgung mit Prozeßgasen & -flüssigkeiten
- Deionisiertes Wasser für Spülprozesse, hergestellt durch mehrstufige Reinigung von
Trinkwasser
- Reinraum, Klasse 1 – 100
Reinraumklase: maximale Anzahl von Partikeln > 0,5 µm in einem Kubikfuß (= 28,3 l )