Die Gitterkonstante für Siliziumkristalle beträgt 0,543nm. Ich kann mich an einen Vortrag eines Festkörperphysikers erinnern, der darin berichtete, dass er Transistoren mit 2-3 Atomlagen fertigen konnte. D.h. bei etwa 1-1,5nm dürfte dann endgültig Schluss sein.