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Als führender Anbieter von verfahrenstechnischen Anlagen in der Halbleiterindustrie hat Lam Research ein neues Verfahren vorgestellt, welches für eine höhere Ausbeute im Prozess der Wafer-Verarbeitung sorgen soll. Da es in der Fertigung moderner Chips zu einem immer größeren Anteil an Verarbeitungsschritten und teilweise Wafer-on-Wafer-Technologien kommt, wird ein Schutz der Wafer zunehmend wichtig.
Die Kante eines Wafers ist eine Hauptquelle für Verunreinigungen im Prozess-Verlauf. Je mehr Schritte ausgeführt werden, desto größer ist die Chance, dass sich aus dieser Kante Teilchen lösen, die dann für eine Verunreinigung sorgen. Entsprechend werden diese Kanten beschichtet, damit sich weniger Teilchen lösen können. Lam Research hat nun mit Coronus DX eine Beschichtung vorgestellt, welche diese Verunreinigung deutlich reduzieren sollen.
Verunreinigungen spielen im Herstellungs-Prozess moderner Chips eine immer größere Rolle. Dies haben wir bei unserem Besuch der Fab 28 von Intel in Israel erfahren dürften. Zudem hat sich wie gesagt die Anzahl an Fertigungsschritten deutlich erhöht und ein belichteter Wafer wird nicht mehr direkt in seine Chips vereinzelt, sondern für das Packaging oder Technologien wie PowerVia mit einem weiteren Wafer zusammengebracht. Alle diese Schritten sorgen dafür, dass das Potenzial für Verunreinigungen wächst.
Lam Research spricht von einer zusätzliche Ausbeute von 0,2 bis 0,5 % pro Ätz- oder Abscheidungsschritt, was zu einer Verbesserung von bis zu 5 % über die gesamte Wafer-Verarbeitung führen soll. Bei mehreren Tausend oder gar Hunderttausend Wafern pro Monat sind selbst Verbesserungen im Promillebereich für den Hersteller spürbar.
Bereits 2007 hatte Lam Research damit begonnen, solche Schutzschichten zu entwickeln. Vor allem immer längeren Nassätzprozesse (wet etch processes) für 3D-NAND-Speicherchips haben dazu geführt, dass solche Schutzschichten entwickelt wurden.
Lam Research hat etwa 18.700 Mitarbeiter und macht einen Jahresumsatz von mehr als 19 Milliarden US-Dollar. Man ist also kein kleiner Player am Markt und stellt für viele Halbleiterhersteller die notwendigen Anlagen bereit. Über seine Kunden spricht das Unternehmen nicht, man kann allerdings davon ausgehen, dass alle großen Halbleiterhersteller Anlagen von Lam Research im Einsatz haben.